傳感器是一個極其特殊的行業(yè)，它的產(chǎn)值不算高，2019年我國市場規(guī)模約2200億人民幣，但卻有數(shù)萬個品類，幾乎遍布所有產(chǎn)業(yè)和每個國民經(jīng)濟的角落。它集機械、光、電于一身，能精確衡量壓力、溫度、濃度、速度等，卻又受制于芯片、材料、電路的發(fā)展瓶頸。它的原理透明，但工藝卻非常復雜，是制造業(yè)中少見的帶有“手藝”氣息的工業(yè)品，技術(shù)訣竅深藏在工藝之中。

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我國傳感器行業(yè)起步較晚，核心技術(shù)缺失，因而以中低端制造為主，隨著近年智能制造、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等熱火朝天的發(fā)展，特別是MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導體傳感器朝著微型、低功耗、高精度方向發(fā)展，傳感器行業(yè)迎來了第二春。

本文著重介紹壓力傳感器的基礎(chǔ)應用和未來方向。

一、壓力傳感器傳輸原理

壓力是指發(fā)生在兩個物體接觸表面的作用力，同時包含不同形態(tài)下的作用力，一般可分為氣壓、液壓、固壓三種情況。壓力傳感器通過感受壓力信號，將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號器件或裝置，以便輔助機器完成判斷，因而成為IOT感知層技術(shù)的基石。

在過去幾十年中，汽車行業(yè)一直是推動壓力傳感器需求的主要行業(yè)，迄今為止，壓力傳感器已廣泛應用在管道液壓、消防、智能汽車、智慧醫(yī)療、航空航天等眾多領(lǐng)域。2020年全球壓力傳感器市場規(guī)模已達16.5億美元，合計人民幣104億元，據(jù)新思界產(chǎn)研中心報告顯示，壓力傳感器的份額約占20%，僅次于流量傳感器。

二、5大壓力傳感器及應用場景

壓力傳感器有多種分類方式。從工作原理來劃分，壓力傳感可分為壓電式、壓阻式、應變式、電容式等。從使用材料和傳感原理來看，主要有應變式壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、擴散硅壓力傳感器、藍寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器5種。

1、應變片壓力傳感器——高精度 最廣泛

電阻應變片壓力傳感器的核心是電阻應變片，即一個受力會形變的金屬片。當應變片受外力影響時，其長度和截面積都會發(fā)生變化，進而改變電阻值。比如當金屬絲受外力作用而伸長時，其長度增加，而截面積減少，電阻值便會增大。

應變式傳感器可以測量應變應力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量，在不同領(lǐng)域間的應用也最為廣泛。尤其應用在高精度要求的工業(yè)稱量系統(tǒng)產(chǎn)品，如平臺秤和料斗稱量系統(tǒng)。

2、陶瓷壓力傳感器——抗磨損 夠穩(wěn)定

彈性好、抗沖擊、抗磨損、性能穩(wěn)定……陶瓷是壓力傳感器的理性材料。陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，而是以陶瓷直接作為感應膜片，讓壓力間接作用于陶瓷膜片背面的厚膜電阻， 連接成一個惠斯通電橋，電阻阻值變化后通過電橋產(chǎn)生一個與壓力、激勵電壓成正比的電壓信號。

相比金屬應變片，陶瓷壓力傳感器最大的特點就是抗腐蝕，在測量腐蝕性介質(zhì)的壓力時，如在化工、制冷等領(lǐng)域中往往大顯身手。其次，陶瓷壓力傳感器常以分層結(jié)構(gòu)組成，故有較好的抵抗壓力峰值的作用，但相應的靈敏度可能沒有前者表現(xiàn)優(yōu)秀。

3、擴散硅壓力傳感器——小體型 大信號

其原理是被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，并依靠電子線路檢測到變化，迅速轉(zhuǎn)換、輸出相應的標準測量信號。

擴散硅壓力傳感器的一個顯著優(yōu)點是信號輸出大，為后端變送調(diào)理線路提供了很大的優(yōu)勢，加上分辨率高，靈敏度高，其可選的后端電路更多。其次，擴散硅的體積小巧利于安裝，可以廣泛應用在醫(yī)療器械中，用于輔助生物監(jiān)測。

4、藍寶石壓力傳感器——精度準價格高

與第1種應變電阻式工作原理類似，受到傳輸壓力后其接收膜片發(fā)生形變，變化被硅-藍寶石敏感元件感知后，其電橋?qū)⑤敵龊蛪毫Τ尸F(xiàn)正比的變化電信號。

作為半導體敏感元件，藍寶石的計量特性無與倫比，既不會發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象，也憑借極高的硬度不怕形變。此外，藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性，此類傳感器可以在各種極端環(huán)境下工作，且可靠性高、精度好、溫度誤差極小。其缺點也很明顯——價格會相比其他壓力傳感器貴一倍以上，應用場景一般在在高端或重型裝備上。

5、壓電壓力傳感器——動態(tài)場景優(yōu)勢

壓電壓力傳感器基于壓電效應而工作，從結(jié)構(gòu)上看內(nèi)部有一個薄圓筒，當薄圓筒內(nèi)側(cè)受到壓力作用時，圓筒的內(nèi)張力增大，從而使其固有振動頻率升高。只要測出振筒的固有振動頻率，就可知道壓力大小。

壓電傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點。但不可以應用在靜態(tài)的測量當中，原因是受到外力作用后的電荷，僅在回路中有無限大輸入抗阻的時候，才可以保存下來，因此只應用在動態(tài)測量當中，如壓電噴墨打印頭、相機中使用壓電MEMS進行自動對焦等等。

此外，壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛的應用，在航空領(lǐng)域有特殊地位。

三、IOT時代來臨，壓力傳感器有哪些應用場景？

縱觀整個產(chǎn)業(yè)鏈，壓力傳感器上游主要是原材料供應商，上游廠商提供金屬片、陶瓷片、硅片、藍寶石-硅壓合片等以及封裝所需材料。今年大部分原材料價格的不斷漲價對身處中游的壓力傳感器行業(yè)造成較大影響。

壓力傳感器的下游應用十分廣泛，除了汽車制造、機械工業(yè)、醫(yī)療器械等行業(yè)，還在航空航天、消費電子等產(chǎn)品中使用，隨著物聯(lián)網(wǎng)時代的到來，越來越多的智能產(chǎn)品也急需感應元件滿足消費者需求。

近些年來，新型半導體材料不斷出現(xiàn)，讓壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設計、敏感元件集成設計、加工工藝得以突破迭代，MEMS壓力傳感器供需量不斷增加，其應用范圍也能夠走向更廣闊的領(lǐng)域。國內(nèi)知名的壓力傳感器供應商不少，但大部分集中在產(chǎn)品集成商手中，配套產(chǎn)品一同進行銷售。以下幾家壓力傳感器企業(yè)較具代表性：

萬訊自控從事工業(yè)自動化儀器儀表的產(chǎn)銷研造業(yè)務，其主營產(chǎn)品壓力儀表及配件銷售貢獻占比連年上升，MEMS壓力傳感器的年產(chǎn)達1500萬只，也從事定制化的儀表業(yè)務。

盾安環(huán)境主攻制冷配件和制冷設備，大部分制冷設備在使用時需要長期測量壓力，以確保工作沒有異常，于是將產(chǎn)品和傳感器元件一并生產(chǎn)制造，形成自家產(chǎn)業(yè)鏈。

歌爾股份在高保真耳機代工上堪稱一枝獨秀的，2020年銷售收入近600億，將近50%的收入都來自大客戶蘋果耳機。歌爾的電子元器件業(yè)務占比98%，其主要產(chǎn)品入耳式耳機內(nèi)部有MEMS芯片和傳感器，以滿足耳機的各種交互功能。

威爾泰作為儀器儀表廠商，要收入和利潤來源是壓力變送器。

壓力傳感器的行業(yè)集中度較高，全球行業(yè)內(nèi)前三名所占市場份額高達48%，博世（Bosch）、泰科電子（TE Connectivity）和英飛凌（Infineon）三家近乎半壁江山。除了這些壓力傳感器的生產(chǎn)巨頭之外，還有像霍尼韋爾、意法半導體、森薩塔等海外集團公司占據(jù)著大量的市場份額。

四、壓力傳感器行業(yè)發(fā)展趨勢：微型化、場景化、協(xié)同化

中國壓力傳感器的研發(fā)和制造目前尚處于起步期，未出現(xiàn)具有一定經(jīng)營規(guī)模的企業(yè)，掌握核心部件研發(fā)和制造能力的企業(yè)十分稀缺。不僅如此，目前高精度的國產(chǎn)壓力傳感器，其內(nèi)部晶片或者芯體大多仍需進口，但在全球疫情以及中美國際貿(mào)易關(guān)系的影響下，海外供貨受阻，供應周期拉長，這使得研發(fā)自主設計生產(chǎn)的國產(chǎn)壓力傳感器芯體迫在眉睫。

微型化是壓力傳感器研發(fā)的一大趨勢，廠商們正不斷地縮小壓力傳感器的體積。MEMS壓力傳感器的出貨量逐年上升，多元化的應用場景也在不斷拓寬，智能家居、管道檢測、車聯(lián)網(wǎng)、智能制造中都會大量使用壓力傳感器。

同時，多傳感器協(xié)同的情況也會普遍地出現(xiàn)在各種智能產(chǎn)品中，通過多傳感器的融合與協(xié)同，提升了信號識別與收集的效果，也提高了智能設備的集成化程度，節(jié)約了內(nèi)部空間。相信在未來，物聯(lián)網(wǎng)時代，壓力傳感器的應用會越來越多。

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