本月 3 日，光刻機制造商阿斯麥位于德國柏林的一座工廠發(fā)生火災(zāi)，大火在當(dāng)晚被撲滅，沒有人員在火災(zāi)中受傷，阿斯麥隨后也宣布將對火災(zāi)的影響進(jìn)行評估，并對外公布相關(guān)的消息。

阿斯麥官網(wǎng)的信息顯示，他們已完成柏林工廠火災(zāi)影響的初步評估。

阿斯麥在官網(wǎng)上表示，上周一的火災(zāi)，發(fā)生在柏林工廠的一棟建筑中，火災(zāi)中的煙霧，部分影響到了相鄰的建筑，受影響建筑的部分生產(chǎn)已能恢復(fù)，其他未受影響的建筑，已全面運營。

火災(zāi)影響的損壞評估仍在進(jìn)行中，但阿斯麥方面表示，從目前的情況來看，他們計量和檢測產(chǎn)品的產(chǎn)出計劃將不會受到影響，因為沒有相關(guān)的部件在柏林工廠生產(chǎn)。

雖然火災(zāi)未影響到計量和檢測產(chǎn)品部件的生產(chǎn)，但阿斯麥位于柏林的工廠，生產(chǎn) DUV 和 EUV 光刻機的部分部件，這兩類光刻機部分部件的生產(chǎn)，在火災(zāi)中都受到了影響。

阿斯麥在官網(wǎng)上表示，DUV 光刻機零部件的生產(chǎn)部分中斷，生產(chǎn)已經(jīng)恢復(fù)，預(yù)計他們將以一種不會影響 DUV 光刻機產(chǎn)量和收入計劃的方式進(jìn)行補救。

柏林工廠受火災(zāi)影響仍未恢復(fù)的，是 EUV 光刻機一個零部件的生產(chǎn)區(qū)域，恢復(fù)計劃仍在進(jìn)行中，他們已決定采取相關(guān)的措施，將對 EUV 光刻機客戶、產(chǎn)出計劃及服務(wù)的潛在影響降到最低。

阿斯麥在官網(wǎng)上還表示，他們將在 1 月 19 日披露去年四季度及全年的業(yè)績，預(yù)計會提供火災(zāi)影響的最新信息。